光氧废气净化器的工作机理是采用微波场激发无极灯，从而产生高强的紫外线，这种紫外线是目前工业UV/O3紫外灯中剂量和能量最大的紫外线，它可以在最短的时间内裂解硫化氢，氨气等键能小于880kJ/mol的分子键。一般情况下，光解的时间是大于1秒的，无极灯紫外线同样能裂解自然界中相对比较稳定的氮氮叁键。

无极灯紫外线光解氧气产生臭氧，臭氧能快速氧化金属性较强的污染物，臭氧量可根据污染物的浓度以及后续反应时间设定。